| Газовая нагрузка по азоту, бар·л | 3000 |
| Газовая нагрузка по аргону, бар·л | 3000 |
| Газовая нагрузка по водороду, бар·л | 32 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Кроссовер, мбар·л | 700 |
| Модель | 5000 iCL |
| Назначение | Промышленный |
| Производитель | Leybold |
| Производительность по Ar, мбар·л/с | 10 |
| Производительность по H2, мбар·л/с | 7 |
| Производительность по N2, мбар·л/с | 10 |
| Серия | COOLVAC |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 18000 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 5200 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 4000 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 6200 |
| Страна | Германия |
| Тип | Криогенный |
| Время охлаждения, мин | 100 |
| Вход и выход | DN 400 ISO-K |
| Вес, кг | 53 |
